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光学电子干净厂房车间工程筹划详解

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光学电子干净厂房车间工程筹划详解

发布日期:2018-07-14 作者: 点击:

光学光电干净车间工程简介:

光学微电子污染工程亦名无尘室或清净室,如今已经是半导体、周详制造、液晶制造、光学制造、线路板

制造和生物化学、医药、食品制造等职业弗成或缺的重要设备。近几年来,由于技能之创新展开,关于产

品的高周详度化、渺小型化之需求更加弁急,如超大年夜型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技展开

上极其看重的项目,而我公司的筹划理念及施工技能在职业中则处于抢先地位。

光学微电子污染工程之定义为将必定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排

除,并将室内之温湿度、干净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音轰动及照明、静电控制在某一

需求范围内,而所给于特别筹划之密闭空间。

无尘车间/干净室的意图以下:

功用一:过滤轮回空气主意无尘情况,

功用二:调理空气建立恒温恒湿情况。

功用三,建立正压情况防止外气污染

光学光电干净车间

电子污染工程

光学微电子污染工程普通包含:

1、 干净临盆区

2、 干净辅佐间(包含人员污染用房、物料污染用室和部分生活用室等)

3、 处理区(包含任务、值勤、处理和安息等)

4、 设备区(包含污染空调体系应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)

光学微电子污染工程污染道理

气流→初效污染→空调→中效污染→风机送风→管道→高效污染风口→吹入房间→带走尘土细菌等颗粒

→ 回风百叶窗→初效污染 反复以上过程,便可达到污染意图。

光学微电子污染工程污染参数

换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。

压差:主车间对相邻房间≥5Pa

均匀风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;动摇±2℃。

温度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%阁下为好;电子车间湿度略高防止产生静电。

噪声≤65dB(A);

新风弥补量是总送风量的10%-30%;

照度300LX。

光学微电子污染工程

光学微电子污染工程构造材料

1. 污染厂房墙、顶板材普通多选用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为漂亮、刚性强。圆弧墙 角、门、

窗框等普通选用公用氧化铝型材制造。

2.地上可选用环氧自流坪地坪或高等耐磨塑料地板,有防静电请求的,可选用防静电型。

3.送回风管道用热渡锌板制成,贴污染保温感化好的阻燃型PF发泡塑胶板。

4.高效送风口用不锈钢构造,漂亮干净,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜干净。


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